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表面潔凈度測試儀采接觸式，量測物體表面的粒子數(shù)量的設(shè)備! 半導(dǎo)體，面板廠，設(shè)備商與所有清潔部件廠商，驗(yàn)證部件表面是否干凈的檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)工具！人的肉眼很難看清直徑在100微米以下的粒子，這些粒子會快速沉降，逃避常規(guī)的空氣檢測從而聚集在關(guān)鍵表面或產(chǎn)品上，從而減少產(chǎn)品的良率及降低產(chǎn)品的穩(wěn)定性。